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硅片系列
锗片(Ge)
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Product Introduction


一、什么是锗片、锗材料的简单描述及物理性质?

具有半导体性质。对固体物理和固体电子学的发展超过重要作用。锗的熔密度5.32克/厘米3,锗可能性划归稀散金属,锗化学性质稳定,常温下不与空气或水蒸汽作用,但在600~700℃时,很快生成二氧化锗。与盐酸、稀硫酸不起作用。浓硫酸在加热时,锗会缓慢溶解。在硝酸、王水中,锗易溶解。碱溶液与锗的作用很弱,但熔融的碱在空气中,能使锗迅速溶解。锗与碳不起作用,所以在石墨坩埚中熔化,不会被碳所污染。锗有着良好的半导体性质,如电子迁移率、空穴迁移率等等。锗的发展仍具有很大的潜力。现代工业生产的锗,主要来自铜、铅、锌冶炼的副产品。

化学式 Ge 
分子量 72.61 
纯度6N 
外观锭状多晶、单晶 
用途锗被广泛应用于电子工业、红外光学器件、光纤、医学、冶金、能源、太阳能电池等方面。 

二、锗片的基本参数表、规格表

Ge Wafer Specification

Type/Dopant 导电类型/掺杂元素N-Type/SiP-Type/Zn
Dopant/掺杂元素As, SbGa
Growth Method 长晶方式CZ
Diameter 直径2", 3", 4", 6"
Orientation 晶向(100)±0.5°
Thickness 厚度 (µm)175-500um±25um
OF/IF 参考边US EJ
Resistivity 电阻率 (ohm-cm)0.005-300.005-0.4
Etch Pitch Density 位错密度(/cm2)<300<300
TTV 平整度 [P/P] (µm)<15
TTV 平整度 [P/E] (µm)<25
Warp 翘曲度 (µm)<25
Surface Finished 表面加工P/P, P/E, E/E


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